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测试须知
1. 测试默认单色化Al靶（Al Kα source），能量1486.68eV；
2. 液体样品需制好样干燥后再寄送；易氧化的样品建议手套箱制样，需真空包装送样；块状/薄膜样品表面请用乙醇擦拭干净或抽真空来样，接触空气容易受C、N、O、Si等元素污染，测试结果可能会有误差；
3. XPS是高真空环境测试的，所以要求样品要充分干燥，易吸湿样品请提前说明；
4. 不能测试含硫、氟、氯、溴、碘单质等易挥发成分的样品；不接含有放射性元素的样品；
5. 原子百分含量小于5%的元素可能测不出明显信号；
6. 样品是用胶带固定到样品台上，会有污染或损坏/损失，所以不建议回收样品！
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项目介绍
X射线入射样品的表面，激发出轨道芯能级中的电子，叫做光电子：入射源的能量等于光电子的动能和结合能之和，不同元素不同轨道岀射的光电子具有不同的特征结合能信息，因此可以用结合能的数值来表征不同的元素和化学态信息。
XPS可测试全谱、精细谱、俄歇谱、价带谱，也可刻蚀后再采谱，得到深层的元素信息；XPS定量为半定量数据。
样品要求
1. 样品状态：要求块状、薄膜、粉末样品；
2. 粉末样品：20-30mg；
3. 块状/薄膜样品：尺寸小于10*10*3mm，最佳尺寸小于5*5*3mm；需标记清楚测试面。
结果展示
数据格式：赛默飞设备默认VGD/VGP格式（软件Avantage）,岛津设备默认VMS格式（软件CasaXPS）,PHI设备默认SPE格式（MultiPak）；
常见问题
1. 洛氏、布氏、维氏硬度的区别是什么？
布氏硬度：所有硬度试验中压痕最大的一种试验法，它能反映出材料的综合性能，是一种精度较高的硬度试验法，试样组织显微偏析及成分不均匀不影响布氏硬度测试；
测试方法是以一定的试验力（如62.5kg\187.5kg\250kg\3000k g）载荷把用一定直径的钢球或硬质合金球压入材料表面，保持一段时间，卸载后，负荷与压痕面积之比值，即 为布氏硬度值（HBS（钢球） \HBW（合金球）），单位为N/mm2；布氏硬度常用符号HB表示。
洛氏硬度：在规定条件下，将洛氏硬度计压头（瘁火钢球或顶角为120的金刚石圆锥）分2个步骤压入试样表面。卸除主试验力后，在初试验力下测量压痕残余深度h，以压痕残余深度h代表硬度的高低，用HR表示。
维氏硬度：将两相对面夹角为136°（两相对棱夹角为148°6’42“）的金刚石正四棱锥压头，在一定的试验力作用下压入试样表面，保持一定的时间后，卸除试验力，测量压痕对角线长度，以试验力除以压痕锥形表面积所得的商表示维氏硬度值；维氏硬度常用符号HV表示。
2. XPS刻蚀深度是准确的吗？
XPS不具备测试深度的功能，无法确定具体的刻蚀深度；调节刻蚀能量和面积后得到的刻蚀速率是按照Ta2O5来参考的，实际的刻蚀速率会因为样品实际情况而变化。
比如我可以按照Ta2O5的速率刻蚀10nm，但是具体样品刻蚀的深度未知，最终可能比10nm深，也可能比10nm浅。
3. XPS测试常见误差来源有哪些？
1、样品本身污染，在样品制备、保存或者测试过程中被空气或周围样品污染；
2、样品不均匀，因为测试区域仅几百微米，测试深度仅几个纳米，不同位置结果差别可能比较大；
3、是半定量结果，和元素实际含量会有出入。XPS是表面分析技术，测试的是表面几个纳米深度的信息，不代表整个样品。
4. 常见重叠谱峰有哪些？
答：常见重叠谱峰有Li1s&Co3p；B1s&P2s；C1s&Ru3d5/2,Ru3d3/2；C1s&K2p；O1s&NaKLL；O1s&Pd3p3/2；O1s&Sb3d5/2；N1s&Mo3p3/2；N1s&GaLMM；Al2p&Pt4f5/2；Si2p&Pt5s；Mo3d5/2&S2s；Ta4f&O2s；Co2p&FeLMM；Mn2p&NiLMM；W4f&Zr4p；Al2p&Cu3p。
5. 样品精细谱扫出谱峰？为什么总谱里没有呢？
答：总谱主要是用来定性分析的，设置参数的步长较大，含量低的在总谱里扫不出谱峰。但是精细谱扫出谱峰，就表示样品中有该元素。
6. XPS测试的谱图怎么校正？
答：一般是以C-C峰284.8ev进行校正的，总谱、精细谱是不同的测试方法，不是一起校正的，所以只校正精细谱数据，总谱不用校正。
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